Einbeittu þér að sérstökum gasiðnaði

Rafeindalofttegundir fela í sér rafeindagastegundir og rafeindalausnarlofttegundir.Þau eru ómissandi og lykilefni í framleiðsluferli samþættra rafrása, skjáborða, hálfleiðaralýsingu, ljósvökva og annarra atvinnugreina.Rafrænar sérlofttegundir eru nauðsynleg stoðefni fyrir samþætta hringrásarframleiðslu.Þeir eru mikið notaðir í ljósþurrkun, ætingu, filmumyndun, hreinsun, lyfjanotkun, útfellingu og önnur ferli tengla.Þeir hafa miklar kröfur um hreinleika, stöðugleika, pökkunarílát osfrv., þekkt sem "matur" og "blóð" hálfleiðaraiðnaðarins.Framleiðsla á samþættum hringrásum felur í sér þúsundir ferla, sem eru afar flókin og krefjast notkunar á hundruðum rafrænna sérlofttegunda.Í samþættum hringrásarframleiðslu er hægt að skipta rafeindalofttegundum í lyfjagas, jónaígræðslugas, hreinsilofttegund, etsunargas og ljóslitalofttegund í samræmi við mismunandi ferla;rafeindalofttegundir eru mikið notaðar og hafa miklar tæknilegar kröfur.Heimildir og birgðakerfi þeirra hafa krefjandi kröfur.Gashreinleiki er kjarnabreyta sérstakra gasafurða, sem krefst ofurhreins og ofurhreins.Ultrapure krefst gashreinleika til að ná 4,5N, 5N eða jafnvel 6N eða 7N.Í hvert sinn sem hreinleikinn eykst um eitt N og í hvert sinn sem styrkur agna og málmóhreininda minnkar um eina stærðargráðu mun hreinleiki gassins aukast um eina stærðargráðu.Koma með verulegar umbætur í ferli flókið og erfiðleika.Fyrir blandað gas er nákvæmni hlutfallsins kjarnabreytan.Þar sem vöruíhlutir aukast og undirbúningsnákvæmni eykst, þurfa gasbirgjar oft að framkvæma nákvæmar aðgerðir á gasíhlutum með ýmsum ppm eða jafnvel ppb styrk.